在半导体范畴，滤波器作为要害元件至关重要，近年来，新声半导体的国产BAW滤波器成绩斐然，年出货量超3亿颗，成为半导体职业焦点。而供给产能的，则是我国半导体领军企业华润微在南昌的代工线润芯感知。

  滤波器在通讯设备中起着挑选特定频率信号的要害作用。跟着通讯技能向5G、Wi-Fi 6/7等方向开展，对滤波器功能提出了更加高的要求。FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator，薄膜体声波谐振器）作为一种先进的滤波器技能，具有高功率耐受、小尺度、低插入损耗、高带外按捺和可用于超高频等长处，成为通讯范畴研讨和商用开发的热门。

  现代FBAR主要有四种中心结构。最早大规划量产的是博通的Swimming Pool+Air Frame结构，通过在硅衬底中蚀刻空腔提高声波共振功率和频率选择性，Air Frame 规划下降声学损耗。太阳诱电的结构则是在衬底上面构成相似气泡的空气腔，原理与博通相似。2016年呈现的XBAW，以碳化硅衬底上外延成长的单晶AIN为压电薄膜，来提高功能。2021年，国产射频新锐企业新声半导体提出自主立异的 D-BAW（Double Side Processed Bulk Acoustic Wave Technology，双面键合体声波技能）结构，为现在的国产BAW滤波器量产出货埋下伏笔。

  新声半导体的D-BAW结构具有许多明显优势。它选用双面光刻、双面精密加工，能在上下双面电极边际更灵敏精准地加工构成各类 Frame 结构，高效按捺横向声波传达。通过双面键合构成空腔，完成结构悬空。该结构 MASK（光罩）层数更少，无需杂乱补偿结构，下降了本钱。一起，它打破资料约束，可运用多种衬底晶圆和压电资料。其AlN压电层极平整，溅射镀膜质量更好，功能更优，还具有更高的机电转化功率。

  润芯感知作为南昌高新区参加出资的MEMS晶圆产线，中心运作团队源自具有近二十年智能传感器制作经历的华润微电子，起点颇高。此前国产BAW滤波器受困于“样品可做，量产不可控”，而润芯感知首先完成了BAW大规划产品出货的打破。其出产的BAW由新声半导体担任规划，两边战略协作打造业界抢先的D-BAW滤波器，构成自主规划与本乡制作严密协同的 “新模式”。

  供应链音讯显现，润芯感知产线曩昔一年出货的新声D-BAW滤波器超3亿颗。这一些产品已在干流品牌的手机和平板终端设备中安稳执役，部分类型还应用于多款国内外高端旗舰手机。在国产BAW滤波器出货量排名中，新声的D-BAW以明显比例优势位列榜首，出货量规划远超其他竞争对手。

  在产品功能方面，润芯感知与新声协同开发的D-BAW 滤波器已全面临标世界先进产品。其选用新声创始的SiRoof封装计划，即完好硅帽+干膜有机键合，大幅增强了产品的耐用性和安稳才能。而且，这些功能数据均来自润芯感知南昌产线实践批量制作、通过可靠性测验的量产品，标志着国产BAW滤波器已进入“功能可控、质量安稳、客户验证”的商业落地阶段。

  新声半导体自2021年3月建立以来，专心于声学滤波器和射频前端模组的规划与出售，具有多种滤波器技能，可供给6GHz频率以下全频段的全系列新产品。到现在，公司已申请专利超越500项，授权发明专利超越170项。（邹易）